MEMS（微型机电系统）麦克风外形较小，与目前广泛采用的驻极体麦克风相比，具备更强的耐热、抗振和防射频干扰性能。由于强大的耐热性能，MEMS麦克风采用全自动表面贴装（SMT）生产工艺，而大多数驻极麦克风则需手工焊接。这不仅能简化生产流程，降低生产成本，而且能够提供更高的设计自由度和系统成本优势。想象一下不到普通麦克风一半大小并带有集成音频信号处理功能，MEMS麦克风可以作为单芯片手机一个集成部分。新型MEMS麦克风的全部潜能还有待挖掘，但是第一批采用这种技术的产品已经在多种应用中体现出了诸多优势，GLFore 声学相机就采用40个高灵敏度数字MEMS麦克风，可以实时检测到微小但却恼人的低频噪声，例如嗡嗡声、摩擦声、吱吱声等采用传统声学测量仪器通常难以定位的噪声。当对汽车、家电等进行研发、产品缺陷和性能优化时，使用GLFore G120可以非常方便地定位出瞬态噪声源。